硅烷的主流生產(chǎn)工藝是什么?硅烷在現(xiàn)代高科技中應(yīng)用廣泛,而且越來越重要。硅烷已經(jīng)成為半導(dǎo)體微電子技術(shù)中最重要的特殊氣體。用于制備各種微電子薄膜,硅烷可以制備單晶硅、多晶硅、非晶硅、金屬硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物質(zhì)。在硅烷的整個(gè)生產(chǎn)過程中,為避免硅烷泄漏積聚發(fā)生燃爆事故,需要在現(xiàn)場(chǎng)安裝使用
硅烷氣體泄漏濃度報(bào)警器。
硅烷的主流生產(chǎn)工藝:
三氯氫硅歧化法,該工藝主要是硅烷的制備方法。四氯化硅氫化生成三氯氫硅,然后三氯氫硅歧化生成二氯二氫硅,二氯二氫硅再次歧化生成硅烷。高氯化硅烷通過帶有催化床的反應(yīng)器逐步發(fā)生歧化反應(yīng),最終得到SiH4和SiCI4。制備歧化四硅的關(guān)鍵設(shè)備是催化床反應(yīng)器。由于歧化反應(yīng)的轉(zhuǎn)化率受化學(xué)平衡的制約,這種情況要求及時(shí)將反應(yīng)物與未反應(yīng)的原料分離,以達(dá)到整個(gè)過程完全轉(zhuǎn)化的目的。
三氯氫硅歧化制硅烷的主要特點(diǎn):
1、歧化反應(yīng)在塔式反應(yīng)器中進(jìn)行,非常適合大規(guī)模生產(chǎn),生產(chǎn)效率高,能耗低,成本低;
2、整個(gè)系統(tǒng)閉路循環(huán),排放少,有利于環(huán)保,材料利用率高;
3、反應(yīng)產(chǎn)物易于與硅烷分離,可獲得高純度的硅烷(9-11n);
4、硅烷精餾剩余的各種硅鹽酸鹽可返回歧化塔進(jìn)行反應(yīng);
5、反應(yīng)條件溫和,能耗低,易于操作和控制;
6、可生產(chǎn)硅烷、四氯化硅、二氯硅烷等多種硅源材料。,并可隨機(jī)搭配產(chǎn)品比例。
硅烷是一種非常活潑的壓縮氣體,與空氣接觸可能自燃,與空氣混合形成爆炸性混合物。當(dāng)加熱或燃燒時(shí),硅烷分解產(chǎn)生硅和氫。同時(shí)硅烷也是一種強(qiáng)還原劑,與氧化劑反應(yīng),與水緩慢反應(yīng),與氫氧化鉀溶液和鹵素反應(yīng),在6000℃分解成晶體硅,硅烷具有揮發(fā)性,其揮發(fā)性蒸氣屬于易燃易爆氣體。無色無味,泄露后不易被發(fā)現(xiàn)。遇高溫、電弧、火花和明火有爆炸危險(xiǎn)。
以采用進(jìn)口高精度氣體傳感器的ERUN-PG51SH4
固定在線式硅烷氣體檢測(cè)報(bào)警儀為例,可以同時(shí)檢測(cè)并顯示硅烷氣體的濃度值,超標(biāo)聲光報(bào)警,并聯(lián)鎖自動(dòng)控制排氣風(fēng)機(jī)的啟停,測(cè)量數(shù)據(jù)結(jié)果可通過分線制4-20 mA模擬信號(hào)量或總線制RS 485(Modbus RTU)數(shù)字量信號(hào)以及無線模式傳輸,通過ERUN-PG36E氣體報(bào)警控制器在值班室實(shí)時(shí)顯示硅烷的濃度值,并相應(yīng)的觸發(fā)報(bào)警動(dòng)作。
固定在線式硅烷氣體檢測(cè)報(bào)警儀技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號(hào):EERUN-PG51SH4
檢測(cè)氣體:硅烷SiH4
量程分辨率:
SiH4:0-100ppm、0.01ppm、進(jìn)口高精度電化學(xué)原理傳感器
或
SiH4:0-100%LEL、0.1%LEL、工業(yè)級(jí)催化燃燒原理傳感器
精度誤差:≤±2%F.S.(更高精度可訂制)
顯示方式:報(bào)警器1.7寸彩屏現(xiàn)場(chǎng)顯示濃度值;控制器主機(jī)9寸彩屏值班室顯示濃度值
報(bào)警方式:現(xiàn)場(chǎng)聲光報(bào)警,值班室聲光報(bào)警
數(shù)據(jù)傳輸:4-20mA、RS485,可選無線傳輸
防護(hù)功能:IP65級(jí)防水防塵
防爆功能:隔爆型,Ex d ⅡC T6 Gb級(jí)防爆
以上就是關(guān)于
硅烷的主流生產(chǎn)工藝是什么的相關(guān)介紹,硅烷是一種高附加值的精細(xì)化學(xué)品,廣泛應(yīng)用于電子和半導(dǎo)體行業(yè)。基于三氯氫硅歧化工藝基本思想的氫氯化和脫氯工藝符合大規(guī)?;どa(chǎn),成本低,環(huán)境污染小。適用于多晶硅企業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈的拓展和副產(chǎn)品的回收,以及三氯氫硅工廠產(chǎn)品鏈的拓展,這是未來中國多晶硅和三氯氫硅企業(yè)的首選方式。不過在整個(gè)生產(chǎn)過程中的現(xiàn)場(chǎng)安裝使用
硅烷氣體泄漏濃度報(bào)警器可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)環(huán)境空氣中泄漏積聚的硅烷氣體的濃度值,以免發(fā)生燃爆等事故。