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等離子蝕刻四氟化碳?xì)怏w有毒嗎

時(shí)間:2023-03-09  來(lái)源:有毒氣體檢測(cè)儀  作者:贏潤(rùn)集團(tuán)
由于四氟化碳在等離子表面處理設(shè)備中被電離后會(huì)產(chǎn)生含氫氟酸成分的蝕刻性氣相等離子體,這些等離子體能夠有效地對(duì)各種有機(jī)表面實(shí)現(xiàn)有機(jī)物去除及等離子蝕刻的作用,因此使用四氟甲烷蝕刻被廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能電池板制造、線路板制造、晶圓制造等半導(dǎo)體電子行業(yè)。但是蝕刻過(guò)后的四氟化碳卻對(duì)人體而言是有害的,那么等離子蝕刻四氟化碳?xì)怏w有毒嗎?一般而言,低濃度時(shí),四氟甲烷是無(wú)毒的,但是當(dāng)現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境空氣中積聚的四氟化碳濃度過(guò)高時(shí),就會(huì)對(duì)人體健康造成危害,因此,需要在現(xiàn)場(chǎng)安裝使用四氟甲烷蝕刻劑泄漏濃度報(bào)警器,以免發(fā)生危險(xiǎn)。
等離子蝕刻四氟化碳?xì)怏w有毒嗎
刻蝕通常又會(huì)被稱為蝕刻、咬蝕、凹蝕等,刻蝕作用是利用典型的氣體組合形成具有強(qiáng)烈蝕刻性的氣相,實(shí)現(xiàn)刻蝕所使用的氣體大多為含氟氣體,應(yīng)用最多的是四氟化碳。等離子體刻蝕機(jī)是基于真空中的高頻輝光放電反應(yīng)將四氟化碳中的氟離子電離出來(lái),使反應(yīng)氣體激活成活性粒子,與被刻蝕材料起化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生輝發(fā)性物質(zhì)進(jìn)行刻蝕。

四氟化碳能引起快速窒息,接觸后可引起頭痛、惡心和嘔吐。四氟化碳,又稱作四氟甲烷、全氟甲烷、R14,化學(xué)式為CF4,在常溫常壓狀態(tài)下是一種無(wú)色無(wú)臭有輕微醚味的氣體,惰性低毒物質(zhì),在高濃度下是窒息劑,在高溫時(shí),或與可燃?xì)怏w一同燃燒時(shí),分解出有毒的氟化物。若人體吸入高濃度四氯化碳,可能會(huì)產(chǎn)生頭痛、惡心、頭昏眼花及心血管系統(tǒng)的破壞(主要是心臟)。

四氟化碳對(duì)人體不同部位的危害
1、黏膜
四氯化碳可刺激皮膚、眼、鼻腔,以及咽喉部的黏膜,造成瘙癢、流淚、打噴嚏、咳嗽等刺激反應(yīng)。在脫離現(xiàn)場(chǎng)后,癥狀可逐漸消失;
2、神經(jīng)
在接觸四氯化碳數(shù)小時(shí)或2-3天后,可出現(xiàn)易激惹、眩暈以及嘔逆等表現(xiàn)。較為嚴(yán)重者,可有肌張力增強(qiáng),腱反射亢進(jìn),還可出現(xiàn)昏厥、抽搐等癥狀,或出現(xiàn)視神經(jīng)炎、肢端感覺(jué)障礙等疾??;
3、肝臟
四氯化碳是典型的肝臟毒物,可引起肝小葉中心壞死性肝炎,出現(xiàn)惡心、右上腹疼痛等自覺(jué)癥狀。甚至?xí)霈F(xiàn)肝臟腫大、黃疸,可伴有明顯壓痛。檢查肝功能及血常規(guī)時(shí),可發(fā)現(xiàn)轉(zhuǎn)氨酶、膽紅素、膽固醇、三酰甘油明顯升高;
4、腎臟
四氯化碳可引起腎小管上皮細(xì)胞變性、壞死,導(dǎo)致腎臟損害。嚴(yán)重中毒時(shí),由于廣泛性腎小管變性壞死,可出現(xiàn)少尿、蛋白尿、血尿甚至尿閉等情況,最終導(dǎo)致急性腎衰竭;
5、其他器官
四氯化碳可引起心肌損害、室性期前收縮以及腎上腺皮質(zhì)出血等情況。心室顫動(dòng)或延髓生命中樞受到抑制,可導(dǎo)致患者死亡。若口服四氯化碳,也可刺激胃腸道黏膜造成損傷,同時(shí)可加重肝臟損害。

以贏潤(rùn)集團(tuán)研發(fā)生產(chǎn)的ERUN-PG51CF4固定在線式四氟化碳R14檢測(cè)報(bào)警儀和ERUN-PG71S6-CF4便攜泵吸式R14四氟化碳檢測(cè)報(bào)警儀為例,可分別針對(duì)固定安裝實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)和便攜手持方便快速檢測(cè)四氟化碳CF4氣體的濃度值,并可根據(jù)需求選配風(fēng)速、壓力、噪聲、PM2.5、PM10、風(fēng)向、溫濕度等參數(shù)指標(biāo)。
四氟甲烷蝕刻劑泄漏濃度報(bào)警器
固定在線式四氟化碳?xì)怏w檢測(cè)報(bào)警儀技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號(hào):ERUN-PG51CF4
檢測(cè)氣體:四氟化碳CF4
量程范圍:0-2000ppm、1ppm、進(jìn)口高精度紅外原理傳感器,其他量程、原理、分辨率可訂制
精度誤差:≤±2%F.S.(更高精度可訂制)
顯示方式:報(bào)警器2.5寸彩屏現(xiàn)場(chǎng)顯示濃度值;控制器主機(jī)9寸彩屏值班室顯示濃度值
報(bào)警方式:現(xiàn)場(chǎng)聲光報(bào)警,值班室聲光報(bào)警
數(shù)據(jù)傳輸:4-20mA、RS485,可選無(wú)線傳輸
防護(hù)功能:IP65級(jí)防水防塵
防爆功能:隔爆型,Ex d ⅡC T6 Gb級(jí)防爆
四氟甲烷蝕刻劑泄漏濃度報(bào)警器
便攜手持式四氟化碳?xì)怏w報(bào)警儀技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號(hào):ERUN-PG71S6-CF4
檢測(cè)氣體:四氟化碳CF4
量程范圍:0-2000ppm、1ppm、進(jìn)口高精度紅外原理傳感器,其他量程、原理、分辨率可訂制
精度誤差:≤±2%F.S.
最小顯示:0.001ppm、0.001%VOL、0.1%LEL
方法原理:電化學(xué)、催化燃燒、紅外、激光、PID光離子、熱導(dǎo)等
測(cè)量方式:泵吸式,流量500毫升/分鐘
顯示方式:2.5寸高清彩屏
報(bào)警方式:聲音+閃光+振動(dòng)+屏幕、關(guān)閉報(bào)警可選
響應(yīng)時(shí)間:T90≤20秒
工作電源:3.7 V DC,6000 mA可充放電池
數(shù)據(jù)存儲(chǔ):標(biāo)配10萬(wàn)條,支持定時(shí)存儲(chǔ)或只存儲(chǔ)報(bào)警信息
數(shù)據(jù)傳輸:USB、RS232,可選配RS485
防護(hù)形式:IP67級(jí)防水防塵
防爆形式:Ex ia ⅡC T4 Ga級(jí)防爆
外型尺寸:178×67×40mm(L×W×H)
產(chǎn)品重量:350 g
溫度測(cè)量:-40℃~+120℃、精度0.5℃(選配)
濕度測(cè)量:0-100%RH、精度3 %RH(選配)
采樣手柄:1.2m可伸縮采樣手柄(選配)

以上就是關(guān)于等離子蝕刻四氟化碳?xì)怏w有毒嗎的相關(guān)介紹,總結(jié)一下,四氟化碳是一種無(wú)色無(wú)味的氣體,無(wú)毒、不燃,但在高濃度時(shí)具有麻醉作用的氣體,吸入高濃度的四氟化碳出現(xiàn)呼吸困難、嘔吐等窒息癥狀。而在現(xiàn)場(chǎng)安裝使用四氟甲烷蝕刻劑泄漏濃度報(bào)警器就是為了對(duì)環(huán)境空氣中的四氟化碳泄漏積聚氣體的濃度值進(jìn)行監(jiān)測(cè),有效保護(hù)太陽(yáng)能電池板制造、線路板制造、晶圓制造等半導(dǎo)體電子行業(yè)使用四氟甲烷作為蝕刻劑的現(xiàn)場(chǎng)作業(yè)人員的身體健康。
 
信譽(yù)單位

信譽(yù)單位

陜西省AAA級(jí)信譽(yù)單位

國(guó)內(nèi)頂尖服務(wù)商

國(guó)內(nèi)頂尖服務(wù)商

6年來(lái)被評(píng)為國(guó)內(nèi)頂尖服務(wù)商

技術(shù)人員

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合作客戶

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累計(jì)合作客戶2000+

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