在微電子工業(yè)中,三氟化氮(NF3)是一種常用的等離子體刻蝕氣體,能夠高效而精確地刻蝕硅片。然而,NF3雖然具有優(yōu)良的刻蝕性能,卻也是一種對人體有極大危害的電子特種氣體。那么
硅片刻蝕氣體三氟化氮泄漏的危害有哪些呢?一般而言,主要包括刺激、腐蝕、毒性、強(qiáng)氧化性等,而在現(xiàn)場安裝使用
微電子工業(yè)NF3氣體泄漏濃度檢測報(bào)警器就可以對三氟化氮NF3的泄漏進(jìn)行監(jiān)測預(yù)警,避免其所造成的危害。
NF3是一種低毒物質(zhì),對人體有嚴(yán)重危害。它具有強(qiáng)氧化性,可與還原劑發(fā)生劇烈反應(yīng),引起燃燒和爆炸。高溫能導(dǎo)致其分解甚至爆炸。同時,NF3也對眼睛、皮膚和呼吸道粘膜具有強(qiáng)烈刺激作用,并能腐蝕組織。長期接觸高濃度的NF3會導(dǎo)致頭痛、嘔吐和腹瀉,而長期接觸低濃度的NF3會損傷牙齒和骨骼,引發(fā)牙齒黃斑變性和骨骼畸形等問題。
微電子工業(yè)硅片刻蝕氣體三氟化氮NF3的作用:
NF3在硅片刻蝕中具有重要的作用,它能夠高效而精確地刻蝕硅片,滿足微電子工業(yè)的需求。NF3是優(yōu)良的等離子體刻蝕氣體,通過與硅片表面的氧化層反應(yīng),生成氟化硅,從而實(shí)現(xiàn)硅片的刻蝕。其刻蝕速率和刻蝕精度都比較穩(wěn)定和可控。
微電子工業(yè)硅片刻蝕氣體三氟化氮NF3刻蝕工藝流程:
1、氣體充填
將NF3引入刻蝕室中,確??涛g室內(nèi)的NF3濃度達(dá)到所需水平。
2、預(yù)處理
在刻蝕之前,通常需要對硅片進(jìn)行預(yù)處理,如清洗和去除表面雜質(zhì)。
3、等離子體激活
通過電離等離子體激活硅片表面,增加刻蝕反應(yīng)的速率和效果。
4、刻蝕
將預(yù)處理后的硅片置于刻蝕室中,與NF3進(jìn)行等離子體刻蝕,實(shí)現(xiàn)硅片的精確刻蝕。
5、清洗
刻蝕完成后,需要對硅片進(jìn)行清洗,去除殘留的刻蝕物質(zhì)和雜質(zhì)。
6、檢測和質(zhì)量控制
通過檢測硅片的表面質(zhì)量和刻蝕精度,確??涛g工藝的穩(wěn)定性和可靠性。
微電子工業(yè)硅片刻蝕氣體三氟化氮NF3對人體的危害:
1、
刺激作用接觸NF3可引起眼睛、皮膚和呼吸道粘膜的嚴(yán)重刺激,造成不適和疼痛感。
2、
腐蝕作用NF3具有腐蝕組織的能力,長時間接觸會對人體的眼睛、皮膚和呼吸道造成傷害。
3、
毒性作用長期吸入高濃度的NF3會引發(fā)頭痛、嘔吐和腹瀉等癥狀,對人體健康造成嚴(yán)重威脅。長期吸入低濃度的NF3則會對牙齒和骨骼產(chǎn)生損害,導(dǎo)致牙齒黃斑變性和骨骼畸形等問題。
4、
強(qiáng)氧化性NF3具有強(qiáng)氧化性,能與還原劑發(fā)生劇烈反應(yīng),引起燃燒和爆炸。同時,接觸易燃物質(zhì)和有機(jī)物也會引發(fā)劇烈反應(yīng),甚至導(dǎo)致火災(zāi)和爆炸。
以贏潤集團(tuán)研發(fā)生產(chǎn)的ERUN-PG71S4-NF3
便攜泵吸式三氟化氮檢測報(bào)警儀和ERUN-PG51NF3
固定在線式三氟化氮檢測報(bào)警儀為例,可分別針對便攜手持方便快速檢測和固定安裝實(shí)時在線監(jiān)測三氟化氮NF3氣體的濃度值,并可根據(jù)需求選配風(fēng)速、壓力、噪聲、PM2.5、PM10、風(fēng)向、溫濕度等參數(shù)指標(biāo)。
便攜泵吸式三氟化氮檢測報(bào)警儀技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號:ERUN-PG71S4-NF3
檢測氣體:三氟化氮NF3
量程范圍:
NF3:0-50ppm、0.01ppm、進(jìn)口高精度電化學(xué)原理傳感器
或
NF3:0-1000ppm、0.1ppm、進(jìn)口高精度電化學(xué)原理傳感器
其他量程、原理、分辨率可訂制
精度誤差:≤±2%F.S.
測量方式:泵吸式,流量500毫升/分鐘
顯示方式:2.31寸高清彩屏
報(bào)警方式:聲音+閃光+振動+屏幕、關(guān)閉報(bào)警可選
響應(yīng)時間:T90≤20秒
工作電源:3.7 V DC,4600 mA可充放電池
數(shù)據(jù)存儲:標(biāo)配10萬條,支持定時存儲或只存儲報(bào)警信息
數(shù)據(jù)傳輸:USB、RS232,可選配RS485
防護(hù)形式:IP65級防水防塵
防爆形式:Ex ia ⅡC T4 Ga級防爆
外型尺寸:178×67×40mm(L×W×H)
產(chǎn)品重量:360 g
溫度測量:-40℃~+120℃、精度0.5℃(選配)
濕度測量:0-100%RH、精度3 %RH(選配)
采樣手柄:1.2m可伸縮采樣手柄(選配)
固定在線式三氟化氮檢測報(bào)警儀技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號:ERUN-PG51NF3
檢測氣體:三氟化氮NF3
量程范圍:
NF3:0-50ppm、0.01ppm、進(jìn)口高精度電化學(xué)原理傳感器
或
NF3:0-1000ppm、0.1ppm、進(jìn)口高精度電化學(xué)原理傳感器
其他量程、原理、分辨率可訂制
精度誤差:≤±2%F.S.(更高精度可訂制)
顯示方式:報(bào)警器1.7寸彩屏現(xiàn)場顯示濃度值;控制器主機(jī)9寸彩屏值班室顯示濃度值
報(bào)警方式:現(xiàn)場聲光報(bào)警,值班室聲光報(bào)警
數(shù)據(jù)傳輸:4-20mA、RS485,可選無線傳輸
防護(hù)功能:IP65級防水防塵
防爆功能:隔爆型,Ex d ⅡC T6 Gb級防爆
以上就是關(guān)于
硅片刻蝕氣體三氟化氮泄漏的危害的相關(guān)介紹,雖然NF3在硅片刻蝕中起著重要作用,但其對人體的危害不可忽視。在處理NF3時,必須嚴(yán)格遵守安全操作規(guī)程,使用個人防護(hù)裝備,并應(yīng)配備
微電子工業(yè)NF3氣體泄漏濃度檢測報(bào)警器進(jìn)行在線監(jiān)測,確保作業(yè)環(huán)境的安全。此外,還應(yīng)加強(qiáng)NF3危害的宣傳與教育,提高人們對NF3危害的認(rèn)識,以保護(hù)工作人員和環(huán)境的安全。