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硅片刻蝕氣體硅烷泄漏怎樣檢測

時間:2023-07-20  來源:氣體檢測報警儀  作者:贏潤集團
硅片刻蝕氣體硅烷泄漏是微電子工業(yè)生產(chǎn)過程中的一個重要問題,硅片刻蝕氣體硅烷泄漏怎樣檢測并及時預警成為了企業(yè)關注焦點。幸運的是,現(xiàn)在可以利用芯片廠專門設計的SiH4氣體泄漏檢測報警器來解決這個問題。芯片廠SiH4氣體泄漏檢測報警器能夠對硅烷SiH4氣體泄漏濃度值進行連續(xù)實時在線監(jiān)測,并在超過設定閾值時發(fā)出聲光報警信號,同時可以遠程傳輸相關監(jiān)測信號,并聯(lián)動控制風機和電磁閥等設備的啟停。
硅片刻蝕氣體硅烷泄漏怎樣檢測
硅烷SiH4在工業(yè)上的主要應用如下
1、液晶TFT
液晶顯示器依賴于傳輸和控制電流的TFT,而硅烷作為一種重要的前驅體,能夠提供高純度的硅材料,用于TFT的制備。硅烷通過氣相沉積或化學氣相沉積等技術,用于制備薄膜晶體管,使得液晶顯示器能夠實現(xiàn)高分辨率和高亮度的圖像顯示。
2、太陽能電池
硅烷可以用來制備太陽能電池的薄膜材料,提供光電轉換效率高和穩(wěn)定性好的特性。硅烷通過化學氣相沉積或涂覆等工藝,制備出具有較高抗腐蝕性和電子傳導性的硅薄膜,作為太陽能電池的關鍵組成部分,將太陽能轉化為電能。
3、半導體
硅烷可以用作半導體材料生產(chǎn)中的前驅體,通過化學氣相沉積等工藝在晶圓表面沉積硅薄膜。這些硅薄膜可以作為電子器件的基底,實現(xiàn)電子元件的制備。由于硅烷的高純度和低雜質含量,能夠提供更高的晶體質量和電子性能,進而提升半導體元件的工作效果和可靠性。
4、感光體材料
感光體材料是指在受光后能夠發(fā)生化學反應,產(chǎn)生可觀察或可用的物理或化學效應的材料。硅烷可以作為感光體材料的前體,通過合適的化學反應制備出高效率的感光層。這些感光體材料廣泛應用于光刻技術、印刷和攝影等領域,提供了高質量和高分辨率的圖像。

硅烷,又稱作甲硅烷、四氫化硅,在常溫常壓狀態(tài)下是一種具有大蒜氣味的無色氣體,化學式為SiH4,既屬于可燃易爆氣體,同時又屬于對人體有毒有害的氣體。作為可燃易爆氣體時,硅烷的爆炸極限范圍為0.8%~98%VOL,泄漏到環(huán)境空氣中的甲硅烷氣體濃度值處于此范圍內(nèi)時,遇明火、電弧、火花、高溫等就會發(fā)生爆炸。而作為對人體有毒有害的氣體時,四氫化硅的職業(yè)接觸限值PC-TWA為6.6mg/m3,臨界不良健康效應為眼、皮膚、呼吸道刺激。

為了保證微電子工業(yè)中半導體芯片的生產(chǎn)質量和安全,硅烷的泄漏需要及早發(fā)現(xiàn)和控制。由于硅烷具有高度易燃、易爆、易中毒等特性,一旦泄漏,將對工作環(huán)境和人員安全造成威脅。因此,使用芯片廠的SiH4氣體泄漏檢測報警器成為解決方案之一。

以采用進口高精度氣體傳感器的ERUN-PG51SH4固定在線式硅烷氣體檢測報警儀為例,可以同時檢測并顯示硅烷氣體的濃度值,超標聲光報警,并聯(lián)鎖自動控制排氣風機的啟停,測量數(shù)據(jù)結果可通過分線制4-20 mA模擬信號量或總線制RS 485(Modbus RTU)數(shù)字量信號以及無線模式傳輸,通過ERUN-PG36E氣體報警控制器在值班室實時顯示硅烷的濃度值,并相應的觸發(fā)報警動作。
芯片廠SiH4氣體泄漏檢測報警器
固定在線式硅烷氣體檢測報警儀技術參數(shù)
產(chǎn)品型號:EERUN-PG51SH4
檢測氣體:硅烷SiH4
量程分辨率:
SiH4:0-100ppm、0.01ppm、進口高精度電化學原理傳感器

SiH4:0-100%LEL、0.1%LEL、工業(yè)級催化燃燒原理傳感器
其他量程、原理、分辨率可訂制
精度誤差:≤±2%F.S.(更高精度可訂制)
顯示方式:報警器1.7寸彩屏現(xiàn)場顯示濃度值;控制器主機9寸彩屏值班室顯示濃度值
報警方式:現(xiàn)場聲光報警,值班室聲光報警
數(shù)據(jù)傳輸:4-20mA、RS485,可選無線傳輸
防護功能:IP65級防水防塵
防爆功能:隔爆型,Ex d ⅡC T6 Gb級防爆

該檢測報警器具備實時在線監(jiān)測功能,能夠準確測量空氣中硅烷氣體的濃度值,并通過內(nèi)置的報警裝置在濃度超過設定閾值時及時發(fā)出聲光報警,提醒操作人員注意安全。此外,通過報警器內(nèi)部設置的相關參數(shù),可以實現(xiàn)報警信號的遠程傳輸,將監(jiān)測數(shù)據(jù)傳輸?shù)奖O(jiān)控室或操作中心,實現(xiàn)對硅烷泄漏情況的實時監(jiān)測。

不僅如此,芯片廠的SiH4氣體泄漏檢測報警器還能夠聯(lián)動控制其他設備,例如風機和電磁閥等,以進一步控制和減少泄漏的影響。當報警器檢測到硅烷泄漏超標時,它可以發(fā)送信號給其他設備,如啟動風機增強通風,關閉電磁閥以停止硅烷供應,以便更有效地控制泄漏情況,并保障工作環(huán)境和人員的安全。

以上就是關于硅片刻蝕氣體硅烷泄漏怎樣檢測的相關介紹,硅烷SiH4作為一種多功能的化學物質,在現(xiàn)代科技領域發(fā)揮著重要的作用。它在液晶TFT、太陽能電池、半導體和感光體材料等方面的應用,推動了先進技術的發(fā)展和創(chuàng)新。通過在現(xiàn)場安裝使用芯片廠SiH4氣體泄漏檢測報警器,微電子工業(yè)在硅片刻蝕過程中能夠更好地監(jiān)測和控制硅烷氣體泄漏的情況,保證生產(chǎn)過程的安全和穩(wěn)定性。這項技術不僅提高了生產(chǎn)效率,降低了生產(chǎn)成本,而且也減少了環(huán)境和人員安全的風險。
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